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定製爐型

高真空PECVD設備

產品型號:KJ-T1200-S5030-H

主要用途:廣泛應用於沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

產品介紹:

PECVD係統由奶茶视频有容乃大,真空係統、供氣係統、射頻電源係統等組成。係統主要應用於金屬薄膜,陶瓷薄膜等,複合薄膜,石墨烯等生長。PECVD係統增加功能容易,可擴展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD係統薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高等優點。

PECVD係統主要特點:

1.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
2.通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
3.PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
4.可以通過射頻電源的頻率來控製所沉積薄膜的應力大小。

5.廣泛應用於:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型矽(a-Si:H) 等。

應用範圍:

    PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該係統廣泛應用於沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

設備主要技術參數:

產品名稱

高真空PECVD設備(CE認證)

滑軌奶茶视频有容乃大部分

產品型號

KJ-T1200-S5030-H

爐管尺寸

Φ50mmX1600mm

爐管材質

石英管

加熱區

300mm

工作溫度

1100℃

最高溫度

1200℃

溫控方式

K型熱電偶

控製方式

觸屏控製,帶獨立搖臂,可以根據實際使用需求,調節溫控屏的角度,使用更方便

控溫精度

±1℃

溫控保護

具有超溫和斷偶保護功能

升溫速率

0-20ºC/min  ,建議10ºC/min

加熱元件

含鉬電阻絲

工作電壓

AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定製)

加熱功率

3KW

爐膛材料

氧化鋁多晶纖維

爐體結構

爐體帶滑軌,可實現快速升溫和降溫

法蘭接頭

標配配有兩個不鏽鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不鏽鋼截止閥

密封係統

該爐爐管與法蘭之間采用矽膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重複撤卸,氣密性好。

殼體

不鏽鋼殼體

選配

輔助降溫風扇

                     真空係統部分

名稱

真空係統

主要參數

1.采用進口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa

2.KF25快接,不鏽鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;

3.數字式真空顯示,其測量範圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高

氣路係統部分

名稱

四路質量流量計

主要參數

四通道精密質量流量計:觸屏控製,數字顯示,自動控製。流量範圍流量範圍:

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可調

2.一個混氣罐

3.4個不鏽鋼針閥安裝在供氣係統的左側,可手動控製4種氣體;

4.進出氣口:3進1出

流量控製:手動旋轉式調節

連接方式:雙卡套連接

等離子電源部分

名稱

500W等離子電源

功率範圍

0-500W(連續可調)

工作頻率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

連續輸出

射頻輸出阻抗接口

N-type,female(50Ω)

功率穩定度

≤2W

最大反射功率

70W

電源保護設置

DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

供電電壓/頻率

單相交流(187V-253V)50-60HZ

冷卻方式

風冷

整機尺寸

88X483X550 MM

整機重量

13.5KG

認證

ISO認證、CE認證

售後服務

質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬於質保範圍)

 

 

售後服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿後,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

關於奶茶视频黄

 

鄭州奶茶视频黄電爐有限公司是一家專業從事電爐產品的研發、生產與銷售的高新技術企業。我公司產品具有升溫快、節能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控製、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,並可根據客戶需求定製各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用於陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD係統、牙科爐、升降爐、軌道爐、台車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,並提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

奶茶视频黄鄭重承諾:每台電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品!!!

 

 

 

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